性能优势 Performance Advantages
· 无油气污染工艺设备，可获得清洁零件表面；
· 被抽气体不会被污染，尾气可进行回收利用；
· 无油气、油烟等有害气体的排放，有利于环境保护；
· 避免因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性；
· 可单独使用，进气压力在1Pa至大气压下均能正常工作，抽气效率高，可大幅简化抽真空系统；
· 机组可作为前级泵使用，与罗茨泵、分子泵等组合成多级无油真空机组，以获得更大的抽速与更高的真空度；
· 转子间无接触、无磨损，零件损耗小，使用寿命长；
· 泵腔内采用间隙密封，对少量粉尘不敏感；
· 智能控制模式，实时监测设备运行状态，并针对异常情况作出报警；
· 模块化设计，整机体积小，方便移动；
· 可变频运行，节能效果好；
· 采用一体化水冷电机设计，运行噪声低，震动小。
机组内容 Unit Content
