单晶炉用干式螺杆真空机组

性能优势 Performance Advantages

·  无油气污染工艺设备，可获得清洁零件表面；

·  被抽气体不会被污染，尾气可进行回收利用；

·  无油气、油烟等有害气体的排放，有利于环境保护；

·  避免因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性；

·  可单独使用，进气压力在1Pa至大气压下均能正常工作，抽气效率高，可大幅简化抽真空系统；

·  机组可作为前级泵使用，与罗茨泵、分子泵等组合成多级无油真空机组，以获得更大的抽速与更高的真空度；

·  转子间无接触、无磨损，零件损耗小，使用寿命长；

·  泵腔内采用间隙密封，对少量粉尘不敏感；

·  智能控制模式，实时监测设备运行状态，并针对异常情况作出报警；

·  模块化设计，整机体积小，方便移动；

·  可变频运行，节能效果好；

·  采用一体化水冷电机设计，运行噪声低，震动小。

机组内容 Unit Content

技术参数  Technical Parameter