罗茨真空泵 （液力耦合）

提高真空度 Increase Vacuum

与前级泵如干式螺杆泵、旋片泵等组合后，可提高机组1个数量级真空度。

增大抽速 Increase The Pumping Speed

转子在运行时无接触，可以高速运转，几何尺寸较小的罗茨泵也能达到较高的抽速。

通过合理的选择前级泵与罗茨泵组合，可使小抽速的前级泵实现大抽速，相比同抽

速的单一前级泵，可大幅降低能耗。

无油运行 Oil-free Operation

泵腔内无油，抽送介质不会被污染。

技术参数  Technical Parameter